洁净室缓冲与隔离
洁净室的压差控制是防止污染物渗人或逸出洁净室的重要措施。但是当需要的压差值太大，不容易达到时，就要加设辅助设施。常用的辅助设施有缓冲室、气闸室、气幕室和空气吹淋室。辅助设施也称为缓冲设施，其作用是防止将室外污染物带人室内，或者减少室内污染物发生量。当人或物从非洁净区进人洁净区时，应通过缓冲设施。
(1)气闸室设置在洁净室出人口、阻隔室外或邻室污染气流和压差控制的小室叫气闸室。气闸室的几个门，在同一时间内只能打开一个，这样做是为了防止外部受污染的空气流人洁净室内。当两侧需要的压差太大且难以达到时，可以设置气闸室。
气闸室是一间门连锁不能同时开启的房间，不送洁净风的这种房间最多起缓冲作用。这样的缓冲不能有效防止外界污染物入侵，因为当进入这个气闸室时，外界污染空气已经随人的进入而进入，当再开二道门进入洁净室时，又把已被污染的气闸室内的空气带入洁净室。
(2) 缓冲室缓冲室是位于洁净室人口处的小室。同气闸室一样，缓冲室的几个门，在同一时间内只能打开一个。缓冲室一方面是为了防止污染物进人洁净室，另一方面还具有补偿压差的作用。缓冲室相对于洁净室为负压，相对室外环境为正压。缓冲室属于准洁净区域，缓冲室内也要进行适量的洁净送风，使其洁净度达到将要进人的洁净室的洁净度等级。
(3) 空气吹淋室 空气吹淋室利用喷嘴喷出的高速气流使衣服抖动起来，从而把衣服表面沾的尘粒吹掉。它通常设置在洁净室的人员入口处。

垂直单向流洁净室由于自净能力强，无湍流现象，人员散尘能迅速被回风带走而不至于污染产品，鉴于这种有利条件，可不设吹淋室而改设气闸室。

(4) 传递窗 设置在不同级别的洁净区，以及洁净区和非洁净区之间的隔墙上，可以防止两洁净区之间物体流经非洁净区时被污染，通过传递窗，可以把物品、工件、产品等进行传递。它设有两扇不能同时开启的门，可将两边的空气隔断，防止污染空气进人洁净区。

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